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随着半导体的发展,硅片微粗糙度越来越引起重视,通常它以纳米为单位表征硅片表面点和点的高度差别,是硅片Grinding mark 的表面纹理标志。对半导体而言,表面粗糙度的控制非常重要,对硅片上非常薄的PI层击穿都有着负面影响。

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