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自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
AL120-LMB12-LP
AL120-LMB12-F
晶圆尺寸
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm
卡盒
●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹 ●SEMI：E47.1-0200规格产品 ●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒 ●SEMI：M31-0999规格产品
卡盒数
单盒（装载、卸载兼用）
卡盒设置高度
900 mm
装载端口
有
无
搬运顺序
表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式
全部检查、抽样检查
晶圆校准
非接触式中心环
晶圆搬运方式
真空吸附机械搬运
适用显微镜
半导体检查显微镜MX61L
应用环境
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa
载物台
XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构
重量（不包括显微镜）
约360 kg
约270 kg
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。 人机工程学设计，操作方便
安全传送
专用宏观照明装置
为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了照明方式 高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。
