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STM7测量显微镜
产品概要 技术规格

STM7显微镜多用途性,能够实现对零部件和电气组件的三轴测量。无论待测样品是大的还是小的,测量内容是简单的还是复杂的,奥林巴斯STM7系列就是能满足您需求测量显微镜产品。

  • STM7 通过整合光学显微镜和实现测量
  • STM7在设计上易用性
  • 自动聚焦系统重复性
  • 扩宽观察与测量范围的配件
  • 实现测量系统

STM7 通过整合光学显微镜和实现测量  



STM7系列采用了UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像有高分辨率和高对比度,此外,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的测量。 
 

明场图像
明场图像
暗场图像
暗场图像
微分干涉图像
微分干涉图像
偏光图像
偏光图像











花岗岩载物台基座增强了测量的可靠性

FEM分析
STM7-LF FEM 分析

STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的镜架。由于花岗岩的高稳定性,使测量可到达亚微米水平,同时确保降低误差。







继续提供简单易操作的3轴测量

跟踪对焦光路
主动反射,共聚焦自动聚焦系统光路

不仅是XY轴平面的测量,而且Z轴方向的测量也成为必须。






可追溯系统

可追溯系统图
测量显微镜溯源系统

在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

STM7在设计上易用性 

提供适合您样品尺寸的载物台


常见问题

  • 短测量行程无法满足较大样品的测量需求。 
     
  • 大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程,但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程,这样的做法费事费时,效率不高。 
     
  • 由于可测量的范围窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现同时测量。

STM7解决方案

  • 共有四种正方形测量行程的载物台可供选用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100�mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台会适合您要测量的样品。 
     
  • 采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后,载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动,并且可以在XY平面上自由穿梭。 
     
  • 300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程,这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量,比如300 mm的晶圆和印刷电路板。 

 

stm7_50mm_stage_stmm7-CS50
STM7-CS50 
50mm x 50mm
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100
STM7-CS100 
100mm x 100mm
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200
STM7-CS200 
200 mm x 200 mm
50mm_stage_stmm7-CS300
STM7-CS300 
300 mm x 300 mm














使用相同的显微镜进行低倍率和高倍率观察 


常见问题

  • 大部分传统的测量显微镜只可以用测量物镜或用金相物镜,无法同时满足多种观察要求。

STM7解决方案

  • STM7可以通过安装一个测量物镜适配器使用测量物镜,而更换为物镜转盘后,便可使用金相物镜。这意味着, STM7将金相光学系统和测量光学系统同时结合在一台测量显微镜中。通过这种方式,无论是测量大型样品还是精细样品,或是表面高度差异大的样品,STM7系列都可以对应并协助用户选择观察方法。

测量物镜

 

由于测量物镜有长的工作距离,因此可以在对表面起伏较大的样品进行聚焦的时候,无需担心物镜与样品之间发生接触。此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以观察到较大的视场。

金相物镜


明场图像


明场图像

在明场观察之外还可以对应暗场,偏光和微分干涉观察。

手动调焦和电动调焦两种镜架可供选择

STM7系列包括手动调焦和电动调焦两个系列

聚焦控制提供手动型和电动型两种可选方案。请根据样品和测量内容选择符合您需求的机型,而不需要考虑载物台的尺寸。所有的镜架均内置Z轴线性标尺,各种型号STM7都可以对应3轴测量。

手动Z轴调焦机型

通过操作调焦旋钮,可以快速的上下移动Z轴。为测量有各种高度样品的用户提供了方便。

电动Z轴调焦机型


使用电动调焦装置可以提高操作性,并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。粗微调焦的同轴旋钮设计使使用者可以以习惯的类似手动的方式进行操作,同时电动机型还可以配备自动聚焦单元。

控制单元提升了测量显微镜的操作性

常见问题

  • 其他功能需要添置额外的操作单元。操作者无法快速找到相应的操作单元,因而降低测量效率。 
     
  • 众多操作装置和电源箱、控制箱散布在主机的周围,占用了宝贵的工作空间。

STM7解决方案

操作装置

对于STM7系列,只要使用操作装置能够执行几乎所有的测量显微镜操作,包括重置计数器、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提高效率和方便性,您可以将装置放在放置的位置,并可以操作。

控制箱

手动系统开关
用于手动Z轴调焦机型: 
STM7-HS手动操作装置
电动系统控制单元
用于电动Z轴调焦机型: 
STM7-MCZ电动操作装置

各个单元的电源和通信均被集成在一个控制箱中。即使是添加一些可选功能比如聚焦导航功能也不需要增加额外的电源装置,这样的设计可以减少占用工作空间。

提高了观察和测量效率的光源管理器

常见问题

  • 传统测量显微镜使用的模拟旋钮调节方式不能实现光强的定量控制。 这样每次测量时的光强无法保持一致,导致测量值也发生变化。 
     
  • 使用传统测量显微镜时,每次切换物镜后都需要调节光强,这使得工作流程低效。

STM7解决方案

能够定量掌握光源亮度的数字式显示

光强显示器STM7的光强可定量显示,这样就能保证在相同条件下实施观察和测量。


物镜切换时,无需手动调节光强


光强度管理器可以与编码物镜转盘配置配套使用。带编码物镜转盘会自动识别目前使用的物镜,结合光源管理器的预设值功能,可以为每个物镜注册照明方式和光强。这样每当切换物镜后,可以自动调节光强和调整照明方式。象以前每次切换倍率后手动调节光强的操作,现在就可以省略了。 


light_manager_x5_image   

5x物镜光强 50


stm7_light_manager_x20_image

20x物镜光强 70


light_manager_x100_image
100x物镜光强 120

可拆卸计数器能检查测量结果和设备状态。

常见问题

  • 需要检查诸如照明状态等设备运行状以及测量结果时,因为是在不同单元上显示使操作变得繁琐。


STM7解决方案

计数器

计数器带有显示设备状态和设置的指示灯,可以简单的实现对设备当前设定状态的确认。X、Y和Z轴的单位可以在0.1 μm和1 μm之间切换,此外,还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。

可拆卸式计数器

无论是安装在镜架上还是放置在工作台上,可拆卸式计数器都可以根据用户的使用状况和使用习惯放置位置。当用户站着进行测量时,可以将计数器安装在和观察位置大致相同高度的镜架一侧,以方便轻松的观察和检查结果。当用户通过数码相机在显示器上进行观察和测量,或使用电动Z轴调焦机型时,只需将计数器和操作装置放在工作台上即可进行作业。

显微镜上测量结果显示器
计数器安装在镜架上 
 

工作台上测量结果显示器

计数器放置在工作台上

自动聚焦系统重复性

常见问题

  • 进行目视测量时,不同的操作者会测得不同的高度测量值。此外,这种测量方法耗时,效率低下。

STM7解决方案

聚焦系统

通过将图案投影在视场范围内,由操作者确认上下图案的重合情况,奥林巴斯的聚焦导航系统实现了重复性高的高度测量操作。普通的目测观察进行高度测量时,即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像,也会出现微小误差。而使用STM7的聚焦导航系统,只需匹配标记便可进行测量,因此减少了操作者的主观性对测量结果造成的影响。

目视高度测量 
目视测量结果差异

聚焦导航系统 
focus_navigator_front_focus_area
焦点下方

聚焦导航焦点
焦点位置

focus_navigator_rear_focus_area
焦点上方



















常见问题

  • 进行目视测量时,不同的操作者得出的高度测量结果也会不一样。
     
  • 手动高度测量需要操作者反复进行移动载物台,使用旋钮调焦的操作,这使测量既耗时又低效。 
     
  • 很难对微小的物体聚焦,比如引线。








STM7解决方案

自动对焦单元:再现性和聚焦速度

无论操作者的经验如何,使用STM7用自动对焦单元均可以在更短时间内实现高度测量。即使是粗糙或倾斜的样品表面,利用主动反射、共聚焦方法都可以实现稳定对焦,而小直径的激光,也能保证对微小物体,比如引线的自动对焦。


单次对焦模式

模糊图像
 
聚焦图像

执行自动聚焦后,可完成从大致的聚焦状态转为视场中心的清晰对焦。

追踪模式

启用追踪模式后会随样品表面的高低起伏自动对焦,即使在移动工作台的情况下,也可以保持合焦状态。这使得操作者在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察,从而提高了Z轴的测量效率。


实现观察与测量范围拓展的配件

带编码物镜转盘

编码物镜转盘

将编码物镜转盘与数码照相机配套使用可以在观察过程中在屏幕上显示物镜的放大倍率,以方便您记录倍率。同时切换倍率时也能与软件中记录的校准值和光强连动调整设置。 有明场物镜和明暗场物镜两种供您选择。


MM6-EMO /正像单目镜筒

正像单目镜筒

正立图像用单目镜筒。可与MM6-OCC10×(带十字线的目镜)配套使用。


STM7-FS/ 脚踏开关

foot_switch

实现了不需要用手进行数据传输,使操作者可以在手不离开X和Y手柄的情况下完成测量。


SZ-LW61/ 白光LED照明单元

白光LED灯箱

小型,轻便,使用寿命长,功耗低等特点。此外,这款LED照明单元也不会发生闪烁和亮度波动。


SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED环形照明装置+手动控制单元

环形LED照明装置手动控制单元

SZX-RHS手动控制单元可以实现SZX2- ILR66反射LED环形照明装置的四段照明,并提供具有较高色温的清晰图像。可以从13种模式中选择照明。


旋转载物台

使用微调旋钮可以轻松实现对样品的平行对齐。

STM7 RS100 旋转载物台
STM7-RS100 用于STM7-CS100 100 mm×100 mm载物台
STM7 RS200旋转载物台
STM7-RS200 用于STM7-CS200 200 mm×200 mm载物台
STM7 RS300旋转载物台
STM7-RS300 用于STM7-CS300 300 mm×300 mm载物台


测量支持系统

STM7-BSW GUI

对于显示测量显微镜输出的数据和图像来说,看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和测量。该软件亦可与数码相机结合使用。

STM7规格

小型镜架

中型镜架

大型镜架

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

显微镜镜架

观察方法

BF/DF/DIC/KPO*1

反射/透射

反射/透射

照明系统

白色:用于反射光照明,绿色:用于透射光照明,功耗: 10 W 

聚焦

电动/手动

手动 [手动型]

电动 [电动型]

行程

175 mm

145 mm*2

FOCUS 按钮粗移速度

8 mm/s [电动型]

微调焦速度 (可变)

800 µm/400 µm/200 µm/50 µm (旋转一周移动量) 4 档可选 [电动型]

测量高度

175 mm*3, 120 mm*4

145 mm*3, 90 mm*4

物镜

测量物镜/金相物镜

观察筒

正像单目镜筒,正像三目筒(100:0/0:100)

载物台

行程

50(X)x50(Y)mm

200(X)x200(Y)mm

300(X)x300(Y)mm

100(X)x100(Y)mm

测量精度

50 mm 行程:(3+L/50)µm

(3+4L/200)µm

(3+6L/300)µm

100 mm 行程:(3+L/100)µm

计数器显示

轴数

3

单位

毫米/微米/英寸/密耳

计数器显示分辨率

0.1μm

外形尺寸

[手动型]

466()x583()x651()mm

606()x762()x651()mm

804()x1024()x686()mm

[电动型]

466()x583()x811()mm

606()x762()x811()mm

804()x1024()x844()mm

重量

[手动型]

84kg

152kg

277kg

[电动型]

92kg

159kg

284kg

备注

*1: 简易偏光观察 
*2: 
使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时,可以将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。 
*3: 
采用金相显微镜使用的物镜 
*4: 
采用测量显微镜使用的物镜

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