高精度多功能晶圆量测仪MFM-3000A

 

 

 

 

光学检测:

• 高速/非接觸光學量測
• 奈米深度3D檢測
• 表面形貌/粗糙度分析
• 非透明材質/透明材質形貌分析
• 1μm透明膜厚度量測
• 多層膜厚度量測
• 總厚度量測

 

 

 

表面輪廓掃描模組			1.量測點大小隨著遠離焦面而變大。             公式:D=(A+L*tan(R))*2 單位:μm             D為離焦束徑大小,A為量測焦點半徑,L離焦距離,R=1.29° 2.此規格量測產品為標準片於標準實驗室,如果環境干擾或產品本身汙損,缺角,不均勻…等異常則會造成量測值變異。 3.工作距離與物鏡工作距離有關。 4.橫向解析度與光源波長有關。 5.干涉物鏡搭配1.0X鏡筒倍率的視野範圍。 *所有規格如有變更，恕不另行通知。
	量測軟體	iScan3D
	光源	白光LED
	光源中心波長	550 nm
	奈米掃描模組	0.001~100 μm
	深度量測範圍	(400 μm選配)
	奈米掃描模組	≦0.1 % (量測高度: >10 μm)
	重複精度²	≦10 nm (量測高度: 1~10 μm)
		≦5 nm (量測高度: <1 μm)
	微米掃描模組深度量測範圍	0.1~2000 μm
	微米掃描模組重複精度²	0.1 μm

 

 

多層膜測厚模組			單層薄膜量測模組
NT040-sensor	量測軟體	iProbe	FTM-sensor	量測軟體	iProbe
	量測總厚度	15~1000 μm		量測厚度	1~50 μm
	量測焦點大小¹	40 μm		量測焦點大小¹	40 μm
	工作距離	39±1 mm		工作距離	25±1 mm
	光源中心波長	0.85 μm		光源中心波長	550 nm
	空間解析度	5.3 μm		空間解析度	0.5 μm
	量測解析度	0.35 μm		量測解析度	0.3 μm
	單層重複精度²	±0.01× 單層厚度(單層厚度>50 μm)		重複精度²	±0.25μm
	(Dummy試片)	±0.5 (單層厚度≦50 μm)